009-3120-半导体材料（即半导体晶圆和光罩）检测领域的电子成像平台
Detalles
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类号 L09 |
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项目编号 009-3120 |
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项目名 半导体材料（即半导体晶圆和光罩）检测领域的电子成像平台 |
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项目名(en) Electronic imaging platforms in the field of inspection of semiconductor materials, namely semiconductor wafers and reticles |
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项目名(es) Plataformas de imágenes electrónicas en el campo de la inspección de materiales semiconductores, en concreto obleas y retículas semiconductoras |
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类型 goods |
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状态 A |
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生效日 29 May 2008 8:00 am |
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版本 08-2002 |