009-3122-用于检查半导体材料（即半导体晶圆、光罩和光掩模）的光学检查设备
Detalles
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类号 L09 |
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项目编号 009-3122 |
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项目名 用于检查半导体材料（即半导体晶圆、光罩和光掩模）的光学检查设备 |
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项目名(en) Optical inspection apparatus for inspection of semiconductor materials, namely, semiconductor wafers, reticles, and photomasks |
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项目名(es) Aparato de inspección óptica para la inspección de materiales semiconductores, a saber, obleas semiconductoras, retículas y fotomáscaras. |
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类型 goods |
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状态 A |
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生效日 29 May 2008 8:00 am |
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版本 08-2002 |