L09-24458-电子束曝光的集成光学电路掩模
Detalles
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类号 L09 |
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项目编号 24458 |
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项目名 电子束曝光的集成光学电路掩模 |
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项目名(en) Masks for integrated optics circuits exposed by electron beam |
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项目名(es) Máscaras para circuitos ópticos integrados expuestos por haz de electrones |
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SOU (AP) |