L09-27240-用于测量砷化镓晶片上沉积薄膜应力的应力计
详情
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类号 L09 |
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项目编号 27240 |
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项目名 用于测量砷化镓晶片上沉积薄膜应力的应力计 |
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项目名(en) Stress gauges for measuring stresses in deposited films on gallium arsenide wafers |
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项目名(es) Galgas extensométricas para medir tensiones en películas depositadas sobre obleas de arseniuro de galio. |
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SOU (AP) |