L09-22130-用于蚀刻的电子回旋共振装置
详情
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类号 L09 |
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项目编号 22130 |
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项目名 用于蚀刻的电子回旋共振装置 |
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项目名(en) Electron cyclotron resonance apparatus for etching |
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项目名(es) Aparato de resonancia ciclotrónica de electrones para grabado |
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SOU (AP) |