L09-19139-用于集成电路胶片曝光的装置
详情
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类号 L09 |
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项目编号 19139 |
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项目名 用于集成电路胶片曝光的装置 |
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项目名(en) Apparatus for the exposure of films for integrated circuits |
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项目名(es) Aparato para la exposición de películas para circuitos integrados |
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SOU (AP) |